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產品優點
- 易於操作及安裝。
- 高穩定性及維修性。
- 具有警示紀錄。
- 具有溫度曲線紀錄 (含7日數據)。
- 定期保養或停機時無冷卻液外漏問題 (密閉迴路式設計)。
- 當遠端設定溫度線無法連結溫控設備時能自動恢復遠端設定溫度。
- 定期保養時氮氣清洗功能選擇而不影響其他chamber。
- 適用於半導體及LCD各種製程 。
- PLC 控制 ( 無瞬間壓降問題) 。
- 無幫浦漏油問題及變頻器控制。
- 節能及環保設計。
- 兩個溫度感應器及三種控制方法可以更改溫控設備的性能以適應不同製程使用 。
- 中央監控系統選擇。
